| 純正パーツ |
|---|
| NOVELLUS, AMAT, LAM |
| 2nd(3rd)パーツ |
| NOVELLUS, AMAT, LAM, TEL 等 |
| NOVELLUS, AMAT, LAM, TEL 等 |
| MATTSON |
| AE |
|---|
| MDX, RFG, RFD, APEXシリーズ 等 |
| RFPP |
| LF, RF, ATLシリーズ等 |
| ENI（MKS） |
| OEM, GHW, SPECTRUMシリーズ等 |
| ASTEX（MKS） |
| AX, FIシリーズ 等 |
| COMDEL |
| CLX, CDX, CXシリーズ 等 |
| TRAZAR |
|---|
| AMU, SRNシリーズ PRODUCER, VECTOR, ENDURA, EXELAN, P-5000用等 |
| MKS |
|---|
| ASTRON2L, 3L,6L, 8L, 22L, 30L, REVOLUTION-Ⅲ(AX-7695), AX-7645PS, AX-7645RH |
| AE |
| RAPID, XTstream |
| Brooks PRI |
|---|
| Z-BOT, ATM100, ATM105, ATM200, ATM305, ATM-405-1, ATM407, ATM407B, ATM-407B-1-S, ABM205, ABM405, ABM405-1, ABM407, ABM407B, WTM-107B-2-, DBM2406, DBM2407, DBM2706-V2, VAC407-2A |
| Genmark |
| GB4, GB4S, GB4P, GB4SP, GB4SHD,GB7YP, GB8, GB8Y, GB8Y2 |
| Rorze |
| RR717, RR711, RR713, RR700L150, RR701L120, RR701L150 |
| Canon |
| RETICLE, SCH(HAND1) |
| Kawasaki |
| 3NS410B, 3NS411B, 3NS511C, 3NX510B, 3NX540B, 3NT510B, 3NT520B |
| Yaskawa |
| XU-RCM4700, XU-RCM6421, XU-RCM6422, XU-RCM6841, XU-RCM7230, XU-RCM7231, XU-RCM7410, XU-RCM9205, XU-RCM9206, XU-350S, XU-350D, XU-RC400M, XU-RC595S |
| AMAT |
| HP, XP ,VHP |
| PINNACLE |
|---|
| 40K, 20K, 10K, 6K |
| E'WAVE |
| AE |
| DCG |
| 400Z, 200Z, 100Z |
| HELIX, EDWARDS |
|---|
| EDWARDS、ALCATEL、EBARA、LAYBOLD、島津製作所 |
|---|
| YASKAWA、JENAER BALDOR、Panasonic Mitsubishi、Pittman Tamagawa、PAPST、Automotion 、SMC、Sanyo denki、Alled Motion Emoteq Corp、Oriental motor、その他 |
|---|
| SPINDLE |
|---|
| C1, C2, VECTOR 等 各メーカー対応/各種磁性流体修理 |
| MFC |
| MKS, AE, CELERITY, STEC |
| モニター |
| CRT, タッチパネル, 液晶ディスプレイ |
| Temp,controller |
| 300mmAMAT Etcher用, LAM Etcher用 |
| A8用HEATER製作 |
| VMM-40-101, VMU-40-102EX2, VMW-40-007EX, VOS-40-017 等 |
| ADVANTEST(旧ASIA) |
|---|
| T6577, T5371,TACT7162等 |
| TERADYNE |
| J921, A56AM, μFLEX,CATALYST 等 |
| 東京エレクトロン |
| P-12(XL), P-8(XL), M-80W(LT) 等 |
| 東京精密 |
| UF200(SA), 90A等 |
